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UM定位工作台系列

UM对位平台采用DXM无槽直线电机/及盘式DDR为动力，利用交叉滚子导轨与轴还做导向，内置高分辨率光栅，实现XYO三轴联动。是理想的测量仪器和检测设备的定位机构，可用于诸如半导体/液晶相关制造设备和清洁环境下的图象对准处理。

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产品描述

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UM定位工作台系列介绍

 

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X1A11-08

 

 

UM120

 

 

外形尺寸

 

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技术参数

 

参数 UM120-01X01YR-3
X Y R
峰值推力（扭矩） 80N 80N 2.0 N.m
连续推力（扭矩） 15N 15N 0.4 N.m
最大可搬运质量 5.9Kg 5.9Kg 6.8Kg
有效行程（角度） 20mm 20mm 60°
分辨率 0.1um 0.1um 0.36角秒
最大速度 400mm/s 400mm/s 400°/s
重复定位精度 ±0.5um ±0.5um ±0.8角秒

 

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X1B11-08

 

 

UM200

 

 

外形尺寸

 

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技术参数

 

参数 UM200-01X01YR-3
X Y R
峰值推力（扭矩） 400N 400N 4.0 N.m
连续推力（扭矩） 70N 70N 1.2 N.m
最大可搬运质量 30Kg 30Kg 12.3Kg
有效行程（角度） 25mm 25mm 280°
分辨率 0.1um 0.1um 0.25角秒
最大速度 400mm/s 400mm/s 270°/s
重复定位精度 ±0.5um ±0.5um ±0.5角秒

 

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